真空爐的工作原理是先通過真空系統(tǒng)抽氣，使?fàn)t膛內(nèi)達(dá)到真空狀態(tài)，然后再通過加熱元件發(fā)熱，溫控系統(tǒng)控制升溫速度和保溫時(shí)間，從而進(jìn)行物料的加熱燒制。

　　真空爐結(jié)構(gòu)包括爐膛、加熱元件、溫控系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、水冷系統(tǒng)、密封爐殼等。其中加熱元件主要有電阻絲、硅碳棒、鉬絲鉬桿、硅鉬棒、石墨等，高溫度可達(dá)到2200℃。真空系統(tǒng)根據(jù)所需的真空度由真空閥門、機(jī)械泵、擴(kuò)散泵、羅茨泵組成，真空度一般為7×10-3Pa。

　　此外，為了保證真空爐的正常工作，還設(shè)置了水冷裝置，如爐殼、爐蓋、電熱元件等的不同部件都需要進(jìn)行水冷。同時(shí)，大部分加熱與隔熱材料只能在真空與高溫下使用，如鎢、鉑和石墨等，這些材料在高溫下容易導(dǎo)熱和氧化，因此常規(guī)熱處理爐不能采用這些加熱與隔熱材料。

　　總的來說，真空爐是通過真空狀態(tài)下的加熱和控制系統(tǒng)來實(shí)現(xiàn)高溫加熱燒制的設(shè)備。