燒結真空爐克服了硅煙氣體在高溫真空狀態(tài)下容易與碳纖維發(fā)生反應，碳纖維制成的保溫套管失去保溫效果的問題，其包括圓柱形爐體，爐體由外向內(nèi)設有爐套和隔熱套，爐體與爐套之間有隔熱層。

　　在保溫套管的內(nèi)周面設有石墨套管，使保溫套管不直接面對硅粉氣體，燒結材料支撐架與石墨套筒固定連接，防止燒結材料支撐架穿過隔板，本實用新型有效地保護了保溫套，防止其失去保溫效果。

　　作為改進，石墨套管、燒結材料支撐架和電加熱體的表面分別涂有0.3-0.8mm厚的氮化硼層，石墨套管的作用是為燒結材料支撐架提供支撐，并將硅氣與隔熱套管隔離，但是，在高溫真空條件下，硅和石墨也會發(fā)生反應，氮化硼層是為了進一步阻止硅氣與石墨套筒的反應。

　　燒結材料支撐架和電加熱體可以提高部件的使用壽命，作為進一步的改進，在爐體外部設置了一個可以提供循環(huán)冷卻介質(zhì)的空氣泵，該空氣泵與隔熱材料連通。